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高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

财产先容:电控公司的集成电路装备以七星电子(南方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国度严重科技专项加速财产成长,产物以集成电路装备为主,并连系市场需要向光伏、进步前辈封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等利用范畴拓展。七星电子(南方微)前后承当11项国度严重科技02专项,手艺程度疾速晋升,弥补了国际12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、洗濯机等装备手艺空缺,大局部产物完成了28nm的财产化认证,刻蚀机、PVD已起头14nm手艺的研发。 

12英(ying)寸(cun)28nm刻蚀(shi)(shi)机(ji)、PVD、氧化炉(lu)等(deng)装(zhuang)(zhuang)备(bei)均已(yi)进(jin)入了国际着(zhe)名集成(cheng)电路(lu)制(zhi)作企业大出产线,多(duo)款产物已(yi)成(cheng)为LED、进(jin)步(bu)前(qian)辈(bei)封装(zhuang)(zhuang)、MEMS等(deng)泛半导体领的支流产物,市场开(kai)辟任务效果明显。此中(zhong)12英(ying)寸(cun)、28nmHardMask PVD装(zhuang)(zhuang)备(bei)及12英(ying)寸(cun)55nm硅刻蚀(shi)(shi)装(zhuang)(zhuang)备(bei)已(yi)作为中(zhong)芯国际的Baseline装(zhuang)(zhuang)备(bei)。

主要产物:刻蚀装备(Etch)、化学气相堆积装备(CVD)、物理气相堆积装备(PVD)立式炉、LPCVD、超邃密洗濯机、ALD装备。 

 

【2】锂电装备

北京电(dian)控可供给全套的锂离子电(dian)池极片出产所需的搅拌(ban)、涂布、辊压(ya)、分切装备。

 

胜(sheng)利(li)研制(zhi)大(da)容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌(ban)装备,已把握主(zhu)动上料(liao)手(shou)艺、搅拌(ban)进(jin)程(cheng)法式化节制(zhi)、搅拌(ban)料(liao)评(ping)估等手(shou)艺;胜(sheng)利(li)开辟出(chu)了(le)挤出(chu)式涂(tu)布装备,涂(tu)布速率(lv)10-20m/min(最高(gao)到达30m/min)。胜(sheng)利(li)开辟出(chu)了(le)液(ye)压(ya)伺服辊压(ya)装备,极(ji)片(pian)轧制(zhi)速率(lv)到达20-30m/min(最高(gao)到达60m/min),把握了(le)极(ji)片(pian)热(re)轧手(shou)艺、辊电镀手(shou)艺、AGC液(ye)压(ya)伺服节制(zhi)型等焦点手(shou)艺。

 

分切(qie)装备(bei)(bei)可(ke)分切(qie)卷材宽度达700mm,出产(chan)效力(li)到达50m/min(最高(gao)程度到达80m/min),并开辟了(le)装备(bei)(bei)CCD测控(kong)体系下降了(le)产(chan)物成品率。于此(ci)同时,胜利的搭建了(le)20000Ah锂离(li)子能源电(dian)池中试线(xian),为自产(chan)装备(bei)(bei)供给了(le)工(gong)艺考证平台,具(ju)有(you)供给整线(xian)处理计划的才能。